高分子固体電解質を用いたECMPによるSiCの超高速研磨加工
固体電解質ー金属界面でのアノード溶解を利用したダイレクトナノパターニング
高分子電解質膜スタンプを用いた固相電解酸化によるナノ酸化膜の形成と微小液滴テンプレートへの応用