コアシェル粒子を活用したSiCのパッドフリー電解援用研磨技術
多成分コアシェル粒子の開発とサファイア基板向け高機能磁気援用研磨技術への応用
Ce触媒による砥粒フリーガラス研磨技術の開発とSiCの精密電解援用研磨への応用
